uvled解膠機是一種將uv切割膜膠帶表面固化,從而完成晶圓芯片自動解膠的光源固化設備,是一種冷光源led紫外線解膠固化燈。uvled解膠機的標準產品為365nm波段的紫外固化設備,可根據客戶實際使用工況提供365nm、385nm、395nm和405nm波段的光源解膠機。主要應用在半導體芯片的生產加工過程中,在芯片劃片前,需要將晶圓用劃片膠膜固定在框架上,在進行完劃片加工工藝后,這時需要用到紫外線光源對固定住的劃片膠膜進行照射,使膠膜上的uv膠水完成固化,方便晶圓切片進行后續的封裝工序。
晶圓切片uvled脫膠機的優勢目前市面上的uv解膠機大部分用的都是汞燈光源,在使用過程中會產生大量的熱,很容易對晶圓切片和其他熱敏材質造成損壞,同時因為使用效率低,對產品質量很難控制,非常不適合led芯片和高精密電子器材進行表面固化。復坦希電子科技,采用單波段uvled紫外光源對產品進行低溫照射,被照射的物體表面升溫不超過5攝氏度,輕松完成晶圓加工行業的uv膠膜的脫膠工藝,對產品也不會產生傷害,極大的滿足了晶圓加工的生產需求。